在泵腔內(nèi),有二個“8”字形的轉(zhuǎn)子相互垂直地安裝在一對平行軸上,由傳動比為1的一對齒輪帶動作彼此反向的同步旋轉(zhuǎn)運(yùn)動。在轉(zhuǎn)子之間,轉(zhuǎn)子與泵殼內(nèi)壁之間,堅持有一定的間隙,可以完成高轉(zhuǎn)速運(yùn)轉(zhuǎn)。由于羅茨泵是一種無內(nèi)緊縮的真空泵,通常緊縮比很低,故高、中真空泵需求前級泵。羅茨泵的極限真空除取決于泵本身結(jié)構(gòu)和制造精度外,還取決于前級泵的極限真空。為了進(jìn)步泵的極限真空度,可將羅茨泵串聯(lián)運(yùn)用。
羅茨泵的工作原理與羅茨鼓風(fēng)機(jī)相似。由于轉(zhuǎn)子的不時旋轉(zhuǎn),被抽氣體從進(jìn)氣口吸入到轉(zhuǎn)子與泵殼之間的空間v0內(nèi),再經(jīng)排氣口排出。由于吸氣后v0空間是全封鎖狀態(tài),所以,在泵腔內(nèi)氣體沒有緊縮和收縮。 但當(dāng)轉(zhuǎn)子頂部轉(zhuǎn)過排氣口邊緣,v0空間與排氣側(cè)相通時,由于排氣側(cè)氣體壓強(qiáng)較高,則有一部分氣體返沖到空間v0中去,使氣體壓強(qiáng)突然增高。當(dāng)轉(zhuǎn)子繼續(xù)轉(zhuǎn)動時,氣體排出泵外。
羅茨泵轉(zhuǎn)子由0°轉(zhuǎn)到180°的抽氣過程。在0°位置時,下轉(zhuǎn)子從泵入口封入v0體積的氣體。當(dāng)轉(zhuǎn)到45°位置時, 該腔與排氣口相通。由于排氣側(cè)壓強(qiáng)較高,惹起一部分氣體返沖過來。當(dāng)轉(zhuǎn)到90°位置時,下轉(zhuǎn)子封入的氣體,連同返沖的氣體一同排向泵外。這時,上轉(zhuǎn)子也從泵入口封入v0體積的氣體。當(dāng)轉(zhuǎn)子繼續(xù)轉(zhuǎn)到135°時,上轉(zhuǎn)子封入的氣體與排氣口相通,重復(fù)上述過程。180°位置和0°位置是一樣的。
轉(zhuǎn)子主軸旋轉(zhuǎn)一周共排出四個v0體積的氣體。 |