現(xiàn)在真空行業(yè)中，無(wú)油、清潔度好、真空度高的無(wú)油真空泵越來(lái)越多的受到各行業(yè)的關(guān)注。我國(guó)在此工藝中的發(fā)展還剛剛起步，需要不斷的實(shí)踐。
如日本的真空工業(yè)，其中70%以上是用于半導(dǎo)體和液晶顯示(LCD)產(chǎn)業(yè)，一般傳統(tǒng)的真空系統(tǒng)無(wú)法滿足清潔無(wú)油及耐腐蝕的要求，因此，日本干式真空泵中分子泵、低溫泵發(fā)展得很快。目前真空獲得產(chǎn)品已經(jīng)出現(xiàn)更新?lián)Q代的局面，大量的有油真空系統(tǒng)己被無(wú)油清潔的真空系統(tǒng)所代替。
從目前我國(guó)各類(lèi)真空泵的市場(chǎng)份額和趨勢(shì)可以看出，由于我國(guó)的真空工業(yè)的絕大部分是集中在一般傳統(tǒng)的真空應(yīng)用方面，所以高真空系統(tǒng)仍然以擴(kuò)散泵為主，低真空和前級(jí)真空則以旋片式真空泵、滑閥泵為主。渦輪分子泵目前產(chǎn)最亦不大，大型的或復(fù)合型分子泵尚未形成批量生產(chǎn)，至于低溫泵和各種類(lèi)型的干式真空泵等則剛剛起步，無(wú)法滿足半導(dǎo)體工業(yè)、LCD產(chǎn)業(yè)發(fā)展的需要。
|
