真空泵中所用的真空計可分為兩大類:一類是能直接測出系統(tǒng)壓力的絕對真空規(guī)，如麥克勞(Mcleod )真空規(guī);另一類是經(jīng)絕對真空規(guī)標(biāo)定后使用的相對真空規(guī)，熱偶真空規(guī)與電離真空規(guī)是最常用的相對真空規(guī)。凡能從其本身測得的物理量(如液柱高度、工作液、比重等)直接計算出氣體壓力的稱絕對真空計，這種真空計測量精度較高，主要用作基準(zhǔn)量具。相對真空計主要利用氣體在低壓力下的某些物理特性(如熱傳導(dǎo)、電離、黏滯性和應(yīng)變等)與壓力的關(guān)系間接測量，其測量精度較低，而且測量結(jié)果還與被測氣體種類和成分有關(guān)。因此相對真空計必須用絕對真空計標(biāo)定和校準(zhǔn)后方能用作真空測量。但它能直接讀出被測壓力，使用方便，在實際應(yīng)用中占絕大多數(shù)。真空技術(shù)需要測量的壓力范圍為105~10-11Pa，甚至更小，寬達(dá)16個數(shù)量級以上，尚無一種真空計能適用于從粗真空、低真空、高真空、超高真空到極高真空的全范圍測量，因而需要有多種真空計進(jìn)行組合測量。最常用的如下:
(1) U形管真空計。U形管真空計用以測量粗真空和低真空的絕對真空計。在U形的玻璃管中充以工作液(低蒸氣壓的油、汞).管的一端被抽成真空(或直接通大氣)，另一端接被測真空系統(tǒng)。
(2)壓縮式真空計。壓縮式真空計又稱麥克勞真空規(guī)或麥?zhǔn)险婵找?guī)，是一種測量低真空和高真空的絕對真空計。這種真空計一般用硬質(zhì)玻璃制成，測量精度較高。
(3)電阻真空計。電阻真空計又稱皮喇尼真空計，是一種測量低真空的相對真空計，主要由電阻式規(guī)管和測量線路兩部分組成。
(4)熱陰極電離真空計。熱陰極電離真空計通稱電離真空計，主要用于高真空測量。它是由圓筒式熱陰極電離規(guī)管和測量線路兩部分組成。
(5)冷陰極電離真空計。冷陰極電離真空計是一種測量高真空的相對真空計，它由電離規(guī)管和測量線路兩部分組成。
(6)熱偶真空規(guī)(又稱熱偶規(guī))。由加熱絲和熱電偶組成，其頂部與真空系統(tǒng)相連。
