考慮某真空系統(tǒng)用何種真空泵，首先應(yīng)根據(jù)系統(tǒng)的要求，其次應(yīng)對該泵性能特點有詳細了解，比較了各種泵的優(yōu)缺點后，再決定之，這樣才能選用得適當(dāng)。為便于選擇所要使用的真空泵，現(xiàn)將我國生產(chǎn)的各種類型真空泵總的情況歸納總結(jié)一下,簡略比較它們的特性和優(yōu)缺點，看來是必要的。

一、油封機械泵

現(xiàn)生產(chǎn)的2X型旋片泵均為雙級，抽速為0.5~150升/秒，有全系列的產(chǎn)品。

滑閥泵分單級(H型)、雙級(2H型)。抽速:H型為8~600升/秒;2H型為8~70升/秒。亦有成系列生產(chǎn)的產(chǎn)品。

余擺線式泵抽速可很大，體積小，目前正在試生產(chǎn)。

這類泵均用作獲得低真空，或作高真空泵的前級泵和預(yù)抽泵。帶有氣鎮(zhèn)裝置的可抽除潮濕空氣。但極限真空比抽干燥空氣(不用氣鎮(zhèn)時)低一個數(shù)量級。泵的抽速系指進口壓強在760托時之抽速，當(dāng)系統(tǒng)壓強下降時抽速亦下降，直至接近該泵的極限真空，抽速亦接近于零。其抽降系數(shù)有一定規(guī)定。

二、機械增壓泵(羅茨泵)

工作壓強范圍10~5x10-4托，常用范圍2~5x10-3托，抽速范圍150~2000升/秒，我國已有成系列產(chǎn)品。這種泵最大抽速在2托~10-2托之間，需要前級泵，不能直接向大氣排氣。極限真空隨前級泵變化。與油增壓泵相比，工作壓強范圍較寬，最大排氣壓強較高(機械增壓泵10~30托，油增壓泵1~2托)，返流油蒸氣很少，用它抽除含有水蒸氣等可凝性氣體時較合適。

三、油增壓泵

工作壓強范圍1~1x10-4托，常用范圍在0.1~1x10-2托，抽速范圍200~40000升/秒，彌補了機械泵、擴散泵在此壓強范圍內(nèi)抽速小的缺陷。對惰性氣體與其他氣體有相同的抽速。

四、油擴散泵

普通油擴散泵的工作壓強范圍10-2~5x10-7托，常用范圍10-8~5x10-6托，抽速范圍20~100000升/秒，金屬、玻璃結(jié)構(gòu)的擴散泵均成系列生產(chǎn)。超高真空油擴散泵極限壓強約為10-10托，除結(jié)構(gòu)與普通油擴散泵略有一點差異外，主要是工作液不同，結(jié)構(gòu)材料不同，即用275硅油等作泵液，結(jié)構(gòu)材料用不銹鋼。新設(shè)計的超高真空泵差異就較大了。