1、油封機械真空泵工作原理
用油來保持運動部件的密封、靠體腔容積變化而抽氣的機械真空泵統(tǒng)稱油封機械真空泵。從結(jié)構(gòu)上看,定片泵、余擺線泵、旋片泵和滑閥泵均屬油封機械真空泵類。它們的工作原理都是使泵體腔工作室容積機械地增大和縮小而抽氣。當(dāng)泵腔內(nèi)工作室容積變得最小時,與泵的入口管道連通,于是氣體就進(jìn)入,一直到容積最大并重新與入氣管分開時為止。當(dāng)容積減小時,氣體被壓縮,直到氣體的壓強大于一個大氣壓,排氣閥被打開,將氣體排出。
2、用油作密封泵系液的必要性
當(dāng)前大量使用的機械真空泵,即使設(shè)計得最好,相向運動的零件間配合精度即使達(dá)到百分之幾毫米,在它達(dá)到極限真空時,也難以阻止氣體由高真空端向入口端“突破”返流。油封機械真空泵就是用油來使相向運動的零部件和排氣閥零件間均密封起來,從而使泵能達(dá)到較高的真空度。這時它們的密封度就是對油而不是對空氣來言,高壓氣體反“突破”的機會就少得多,密封性能也就好得多。