對(duì)鈦升華器的要求是：能提供所需要的鈦升華率；鈦升華率易于調(diào)節(jié)，可連續(xù)或間斷地供應(yīng)吸氣劑；鈦升華器本身出氣少或易于去
氣；要有足夠的工作壽命，即要有足夠的鈦儲(chǔ)存量。對(duì)于不同口徑、不同工作壓力的泵，要求的升華率和吸氣劑儲(chǔ)量差別很大，可
以從每小時(shí)幾十克甚至到幾百克的升華率，上千克的儲(chǔ)存量。因此很難設(shè)計(jì)一種升華器滿足這樣寬的要求。通�？煞譃榈蜕A率的
和高升華率的兩種升華器。
低升華率的升華器大多在小型系統(tǒng)中，用以幫助濺射離子泵啟動(dòng)，或者提供較大的活性氣體抽速，通常把升華率每小時(shí)幾十毫克，
吸氣劑儲(chǔ)量為幾克到幾十克的升華器，稱(chēng)為小功率升華器。對(duì)這種升華器的主要要求是工作可靠，操作方便，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單。
高升華率的升華器通常用于做主泵的系統(tǒng)中。要求升華率在每小時(shí)幾克到幾十克，特殊的也有每小時(shí)幾百克的。為保證工作壽命，
儲(chǔ)鈦量要求盡可能的多。
鈦升華器按加熱方式有電阻加熱式、熱傳導(dǎo)加熱式、輻射加熱式、電子轟擊加熱式等四種類(lèi)型。
|
